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          测量技术——干涉法,三坐标知识分享

          发布时间:2018-09-27 11:55:23
            适用于平面度要求较高的小平面。如图7-11所测量时,将平晶贴在工件的被测表面上,观察干涉条纹。封闭的干涉条纹数乘以光波波长之半即为平面度误差。干涉条纹越少则平面度越好。




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